美國INFICON氣體分析系統(tǒng)
INFICON Transpector HPR氣體分析系統(tǒng)
一致的靈敏度*優(yōu)污染控制
該INFICON Transpector HPR結合了Transpector RGA的高性能與校準參考，以執(zhí)行工具診斷和監(jiān)測的自動化工具。 結合INFICON的強大功能FabGuard傳感器集成與分析系統(tǒng) ，Transpector HPR具有自INFICON監(jiān)控，以及監(jiān)控的差異和缺陷的過程中工具的能力